TE480

TE480

仕様

メーカー:東京エレクトロン株式会社

ウェハーサイズ:4インチ〜6インチ

被エッチング膜:Poly

TE580

TE580

仕様

メーカー:東京エレクトロン株式会社

ウェハーサイズ:4インチ〜6インチ

被エッチング膜:Ox

TE680

TE680

仕様

メーカー:東京エレクトロン株式会社

ウェハーサイズ:4インチ〜6インチ

被エッチング膜:Metal